අර්ධ සන්නායක පෙරහන්

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන්:

චිප් සෑදීමේදී නිර්දෝෂී වායු සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම

නිරවද්‍යතාවය සහ සංශුද්ධතාවය ප්‍රමුඛ වන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ලෝකයේ, ගුණාත්මකභාවය

භාවිතා කරන වායු ක්‍රියාවලියේ සාර්ථකත්වය තීරණය කිරීමේදී තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. අපද්‍රව්‍ය, අනන්ත මට්ටම්වල පවා,

මයික්‍රොචිප් වල සියුම් පරිපථයට හානි කළ හැකි අතර, ඒවා දෝෂ සහිත සහ භාවිතයට නුසුදුසු බවට පත් කළ හැකිය.

මෙම තීරණාත්මක ක්‍රියාවලියේදී, අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් අනභිභවනීය ආරක්ෂකයින් ලෙස පෙනී සිටින අතර, ඉතා සූක්ෂම ලෙස දූෂක ඉවත් කරයි.

සහ නිෂ්පාදන මාර්ග හරහා ගලා යන වායූන්ගේ පෞරාණික ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල විශිෂ්ට ලක්ෂණ සහ ප්‍රතිලාභ රාශියක් ඇත.

1. අති නවීන පිරිසිදු කාමර පරිසරයක නිර්මාණය කර ඇත

මෙම පෙරහන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ අති නවීන පිරිසිදු කාමරයක වන අතර, ඕනෑම විභව දූෂණයක් අවම කිරීම සඳහා අපිරිසිදු තත්වයන් ඉතා සූක්ෂම ලෙස නඩත්තු කරන පරිසරයකි. පිරිසිදු වාතය සහිත වායුගෝලයක් යටතේ නිරවද්‍ය වෑල්ඩින් කිරීමකින් ආරම්භ වන දැඩි නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියකට ඒවා භාජනය වේ. පසුව අධි පීඩන, පෙරහන් කරන ලද නයිට්‍රජන් පිරිසිදු කිරීමකින් පසුව, පවතින අංශු ඉවත් කර අංශු වැගිරීමේ අවදානම අඩු කරයි.

2. සුවිශේෂී අංශු ඉවත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව

0.003μm අංශු සඳහා 9 LRV ක කැපී පෙනෙන පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාවයක් සහිතව, SEMI F38 සහ ISO 12500 පරීක්ෂණ ක්‍රම මගින් සකසා ඇති දැඩි ප්‍රමිතීන්ට අනුකූලව, මෙම පෙරහන්, විඛාදනයට ලක් වූ අංශු සහ චලනය වන කොටස් වලින් ජනනය වන අංශු ඵලදායී ලෙස ඉවත් කරමින්, වායූන්ගේ පෞරාණික සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි.

3. සුපිරි යාන්ත්‍රික ශක්තිය

බොහෝ විට ඉහළ වායු පීඩන භාවිතා කරන ඉල්ලුමක් ඇති නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් සහ පරිසරයන්හි සුවිශේෂී ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සහතික කිරීම සඳහා දැඩි ලෙස පරීක්ෂා කර ඇති මෙම පෙරහන්, ඒවායේ ආයු කාලය පුරාම නොසැලෙන කාර්ය සාධනයක් සපයයි.

4. ඉහළම කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන් ඉක්මවා යාම

අර්ධ සන්නායක සැකසුම් සඳහා දැඩි ගෑස් හැසිරවීමේ පෙරහන් අවශ්‍යතා ඉක්මවා යමින්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති විසින් ඉල්ලා සිටින තීරණාත්මක පෙරහන් කාර්යක්ෂමතාව, නිරවද්‍ය ප්‍රවාහ පාලනය සහ ආරක්ෂක ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම සහතික කිරීම සඳහා මෙම පෙරහන් දැඩි පරීක්ෂණවලට භාජනය වේ.

5. ආරක්ෂාව සඳහා නොසැලෙන කැපවීම

දැවෙන සුළු, විඛාදනයට ලක්විය හැකි, විෂ සහිත සහ පයිෙරොෆොරික් ක්‍රියාවලි වායුවලට නිරාවරණය වීමෙන් ආරක්ෂා වීම සඳහා, පෙරහන් නිවාස ඉතා සූක්ෂම කාන්දු පරීක්ෂණවලට භාජනය වන අතර, එමඟින් 1x10-9 atm scc/තත්පරයට වඩා අඩු කැපී පෙනෙන කාන්දු අනුපාතයක් ලබා ගනී. ආරක්ෂාව සඳහා මෙම නොසැලෙන කැපවීම අනතුරුදායක වායූන් අඩංගු වන බවත් හානියක් සිදු නොවන බවත් සහතික කරයි.

6. චිප්ස් සෑදීමේ විශිෂ්ටත්වය සඳහා සම්මුති විරහිත පිරිසිදුකම

ඔවුන්ගේ සුවිශේෂී පෙරහන් හැකියාවන්, ආරක්ෂාව සඳහා නොසැලෙන කැපවීම සහ ඉහළම කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීම තුළින්, මෙම ගෑස් පෙරහන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ක්‍රියාවලිය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඔවුන් පාරිශුද්ධත්වයේ ආරක්ෂකයින් ලෙස පෙනී සිටින අතර, නිෂ්පාදන මාර්ග හරහා පිරිසිදුම වායූන් පමණක් ගලා යන බව සහතික කරමින්, අපගේ නූතන ලෝකයට බලය සපයන ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත මයික්‍රොචිප් නිර්මාණය කිරීමට මග පාදයි.

අර්ධ සන්නායක පෙරහන් වර්ග

අර්ධ සන්නායක පෙරහන් විවිධ යෙදුම්වල භාවිතා වේ, ඒවා අතර:

* ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනය:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අතිශය පිරිසිදු ජලය, වායූන් සහ රසායනික ද්‍රව්‍යවලින් අංශු ඉවත් කිරීමට අර්ධ සන්නායක පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* රසායනික යාන්ත්‍රික තලකරණය (CMP):

අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන CMP පොහොරවලින් අංශු ඉවත් කිරීමට අර්ධ සන්නායක පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* ජෛව වෛද්‍ය විද්‍යාව:

වෛද්‍ය රෝග විනිශ්චය සහ ප්‍රතිකාර සඳහා භාවිතා කරන තරල වලින් අංශු ඉවත් කිරීමට අර්ධ සන්නායක පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* පාරිසරික:

අර්ධ සන්නායක පෙරහන් වාතයෙන් සහ ජලයෙන් අංශු ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.

අර්ධ සන්නායක පෙරහන් ප්‍රධාන වර්ග හතරක් ඇත:

1. පටල පෙරහන්:

පටල පෙරහන් සෑදී ඇත්තේ තුනී, සිදුරු සහිත පටලයකින් වන අතර එමඟින් අංශු උගුලට හසු කර ගනිමින් තරල හරහා ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසයි.

 

අර්ධ සන්නායක සඳහා පටල පෙරහන්

 

 

2. ගැඹුර පෙරහන්:

ගැඹුර පෙරහන් සෑදී ඇත්තේ ඝන, ඇඹරුණු ද්‍රව්‍ය ඇඳකින් වන අතර එමඟින් අංශු පෙරහන හරහා ගලා යන විට ඒවා උගුලට හසු වේ.

 

අර්ධ සන්නායක සඳහා ගැඹුර පෙරහන්

 

 

3. අවශෝෂක පෙරහන්:

අවශෝෂක පෙරහන් සෑදී ඇත්තේ අංශු ආකර්ෂණය කර රඳවා ගන්නා ද්‍රව්‍යයකිනි.

 

 අර්ධ සන්නායක සඳහා adsorbent පෙරහන්

 

 

4. සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී බහුලව භාවිතා වන ගැඹුරු පෙරහන් වර්ගයකි. ඒවා සාදනු ලබන්නේ සියුම් ලෝහ කුඩු සිදුරු සහිත ව්‍යුහයකට සින්ටර් කිරීමෙනි. සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් ඒවායේ ඉහළ කල්පැවැත්ම, ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව හා පීඩනවලට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සඳහා ප්‍රසිද්ධය.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල වාසි:

* ඉහළ කල්පැවැත්ම:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් ඉතා කල් පවතින අතර ඉහළ උෂ්ණත්වයන්, පීඩන සහ විඛාදන රසායනික ද්‍රව්‍ය ඇතුළු කටුක මෙහෙයුම් තත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිය.

 

* ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් මඟින් මයික්‍රෝන 0.01 දක්වා ප්‍රමාණයේ අංශු ඉවත් කළ හැකි අතර, එය සියුම් අර්ධ සන්නායක සංරචක දූෂණයෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

* දිගු ආයු කාලය:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් දිගු ආයු කාලයක් ඇති අතර පහසුවෙන් පිරිසිදු කර නැවත භාවිතා කළ හැකිය.

* රසායනික අනුකූලතාව:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් පුළුල් පරාසයක රසායනික ද්‍රව්‍ය සමඟ අනුකූල වන අතර එමඟින් ඒවා විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතයට සුදුසු වේ.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල යෙදුම්:

* ගෑස් පිරිසිදු කිරීම:

නයිට්‍රජන්, හයිඩ්‍රජන් සහ ඔක්සිජන් වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායූන් පිරිසිදු කිරීම සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* රසායනික පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අම්ල, භෂ්ම සහ ද්‍රාවක වැනි රසායනික ද්‍රව්‍ය පෙරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* අතිශය පිරිසිදු ජල පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අතිශය පිරිසිදු ජලය පෙරීම සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි.

* CMP පොහොර පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන CMP පොහොර පෙරීම සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි.

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් වන අතර එය උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සහතික කිරීමට උපකාරී වේ.

 

විශේෂිත යෙදුමක භාවිතා කරන අර්ධ සන්නායක පෙරහන වර්ගය ඉවත් කරනු ලබන අංශුවල ප්‍රමාණය, පෙරනු ලබන තරල වර්ගය සහ අපේක්ෂිත පෙරීමේ මට්ටම මත රඳා පවතී.

විවිධ වර්ගයේ අර්ධ සන්නායක පෙරහන් සාරාංශ කරන වගුවක් මෙන්න:

පෙරහන් වර්ගය	විස්තර	අයදුම්පත්	රූපය
පටල පෙරහන්	අංශු උගුලට හසු කර ගනිමින් තරල හරහා ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසන තුනී, සිදුරු සහිත පටලයකින් සාදා ඇත.	ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනය, CMP, ජෛව වෛද්‍ය, පාරිසරික	අර්ධ සන්නායක සඳහා පටල පෙරහන්
ගැඹුර පෙරහන්	පෙරහන හරහා ගලා යන විට අංශු උගුලට හසු කර ගන්නා ඝන, ඇඹරුණු ද්‍රව්‍ය ඇඳකින් සාදා ඇත.	CMP, ජෛව වෛද්‍ය, පාරිසරික	අර්ධ සන්නායක සඳහා ගැඹුර පෙරහන්
අවශෝෂක පෙරහන්	අංශු ආකර්ෂණය කර රඳවා ගන්නා ද්‍රව්‍යයකින් සාදා ඇත.	ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනය, CMP, ජෛව වෛද්‍ය, පාරිසරික	අර්ධ සන්නායක සඳහා adsorbent පෙරහන්
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්	සියුම් ලෝහ කුඩු සිදුරු සහිත ව්‍යුහයකට සින්ටර් කිරීමෙන් සාදා ඇත.	ගෑස් පිරිපහදු කිරීම, රසායනික පෙරීම, අතිශය පිරිසිදු ජල පෙරීම, CMP පොහොර පෙරීම	නව කවුළුවක විවෘත වේwww.හෙන්ග්කෝ.කොම් අර්ධ සන්නායක සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්

අයදුම්පත

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ විවිධ යෙදුම්වල බහුලව භාවිතා වේ.ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව, කල්පැවැත්ම සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව හා පීඩනවලට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව වැනි ඒවායේ අද්විතීය ගුණාංග, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිවල අත්‍යවශ්‍ය අංගයක් බවට පත් කරයි.

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් වල විශේෂිත යෙදුම් කිහිපයක් මෙන්න:

1. වේෆර් නිෂ්පාදනය:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්, වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන නයිට්‍රජන්, හයිඩ්‍රජන් සහ ඔක්සිජන් වැනි වායූන් පිරිසිදු කිරීම සඳහා භාවිතා කරයි. මෙම වායූන් එපිටැක්සියල් වර්ධනය, කැටයම් කිරීම සහ මාත්‍රණය කිරීම වැනි ක්‍රියාවලීන් සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

2. රසායනික පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන රසායනික ද්‍රව්‍ය, අම්ල, භෂ්ම සහ ද්‍රාවක වැනි පෙරහන් කිරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. මෙම රසායනික ද්‍රව්‍ය පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම සහ ඔප දැමීම ඇතුළු විවිධ අරමුණු සඳහා යොදා ගනී.

3. අතිශය පිරිසිදු ජල පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අතිශය පිරිසිදු ජලය (UPW) පෙරීම සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. වේෆර් පිරිසිදු කිරීම සහ සේදීම සඳහා මෙන්ම රසායනික ද්‍රව්‍ය සකස් කිරීම සඳහා UPW අත්‍යවශ්‍ය වේ.

4. CMP පොහොර පෙරීම:

අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන CMP පොහොර පෙරීම සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. මයික්‍රොචිප් නිෂ්පාදනයේදී CMP ඉතා වැදගත් ක්‍රියාවලියකි.

5. භාවිත ලක්ෂ්‍ය (POU) පෙරීම:

සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් බොහෝ විට POU පෙරහන් ලෙස භාවිතා කරන අතර, ඉහළම මට්ටමේ පෙරහනක් ලබා දීම සඳහා භාවිතා කරන ස්ථානයේ සෘජුවම ස්ථාපනය කෙරේ. ක්ෂුද්‍ර සකසන සහ අනෙකුත් ඉහළ කාර්ය සාධන උපාංග නිෂ්පාදනය වැනි වායුවේ සංශුද්ධතාවය ඉතා වැදගත් වන යෙදුම් සඳහා POU පෙරහන් විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.

6. අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායු හැසිරවීම:

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායූන්ගෙන් දූෂක ඉවත් කිරීම සඳහා අධි-පිරිසිදු වායු හැසිරවීමේ පද්ධතිවල සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. මෙම දූෂකවලට අංශු, තෙතමනය සහ කාබනික සංයෝග ඇතුළත් විය හැකිය.

7. ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික නිෂ්පාදනය:

පරිගණක, ටැබ්ලට්, ජංගම දුරකථන, IoT සංවේදක සහ පාලන උපාංග වැනි ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ නිෂ්පාදනය සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ.

8. ක්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික පද්ධති (MEMS) පෙරීම:

ක්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික පද්ධතිවලින් දූෂක ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය වන MEMS පෙරීමේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ. සංවේදක, ක්‍රියාකාරක සහ පරිවර්තක ඇතුළු විවිධ යෙදුම්වල MEMS භාවිතා වේ.

9. දත්ත ගබඩා උපාංග පෙරීම:

දත්ත ගබඩා උපාංග පෙරීමේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරනු ලැබේ, එය දෘඪ තැටි සහ ඝන-තත්ව ධාවක වැනි දත්ත ගබඩා උපාංගවලින් දූෂක ඉවත් කිරීමේ ක්‍රියාවලියයි.

මෙම විශේෂිත යෙදුම් වලට අමතරව, සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වෙනත් විවිධ යෙදුම්වල ද භාවිතා වේ. ඒවායේ බහුකාර්යතාව සහ විශ්වසනීයත්වය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා අත්‍යවශ්‍ය මෙවලමක් බවට පත් කරයි.

උසස් තත්ත්වයේ සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් සොයනවාද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පද්ධතිවල OEM විසඳුම් සඳහා HENGKO ඔබේ ප්‍රධාන හවුල්කරු වේ.

අපගේ නිරවද්‍යතාවයෙන් නිර්මාණය කරන ලද පෙරහන් ඔබේ ක්‍රියාවලීන්හි විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කරන අතර තරඟකාරී වෙළඳපලක ඔබට වාසියක් ලබා දෙයි.

HENGKO හි පෙරහන් තෝරා ගන්නේ ඇයි?

* උසස් තත්ත්වය සහ කල්පැවැත්ම

* ඔබේ නිශ්චිත අවශ්‍යතාවන්ට ගැලපෙන පරිදි අභිරුචිකරණය කළ විසඳුම්

* අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩි දියුණු කළ කාර්ය සාධනය

පෙරීමේ අභියෝග ඔබේ නිෂ්පාදනය වළක්වන්නට ඉඩ නොදෙන්න.

අපගේ සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් ඔබේ නිෂ්පාදන පද්ධතිය විප්ලවීයකරණය කරන්නේ කෙසේදැයි ගවේෂණය කිරීමට අදම අප හා සම්බන්ධ වන්න.

අප අමතන්නka@hengko.com

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ විශිෂ්ටත්වය කරා පියවරක් තැබීමට HENGKO සමඟ හවුල් වන්න!