අතිශය පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පෙරීම
විස්තර
ඉහළ ප්‍රවාහ වායු පෙරහන - අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා ක්‍රියාවලි වායු පෙරීම සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. 316L මල නොබැඳෙන වානේ වලින් නිරවද්‍යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇති මෙය, ඉහළ ප්‍රවාහ අනුපාතවලදී අඩු ප්‍රතිරෝධයක් සහතික කිරීම සඳහා බහු-තීරු හෝ ගොඩගැසූ තැටි මාධ්‍ය සැලසුමකින් සමන්විත වන අතර, අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා පෙරීමේ නිරවද්‍යතාවය 0.003μm දක්වා ළඟා වේ. සියලුම ලෝහ ඉදිකිරීම් එය ඉහළ උෂ්ණත්ව ගතික පරිසරයන් සඳහා කදිම පෙරීමේ විසඳුමක් බවට පත් කරයි.
නිෂ්පාදන විශේෂාංගය
▶සියලුම 316L මල නොබැඳෙන වානේ ව්‍යුහය- කල්පැවැත්ම සහ විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධය සහතික කරයි.
▶ඉහළ ප්‍රවාහ අනුපාතය, අඩු ප්‍රතිරෝධය— අවම පීඩන අලාභයක් සහිත ඉහළ ප්‍රවාහයක් සඳහා ප්‍රශස්ත කර ඇත.
▶අතිශය ඉහළ අංශු රඳවා ගැනීමේ කාර්යක්ෂමතාව— අතිශය පිරිසිදු තත්වයන් පවත්වා ගැනීම සඳහා විශිෂ්ටයි.
▶ඉහළ උෂ්ණත්වයන්, පීඩනය සහ විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ- කටුක පරිසරයන්ට සුදුසුයි.
▶විවිධ ක්‍රියාවලි වායු සමඟ අනුකූල වේ- බහු කාර්මික යෙදුම් සඳහා බහුකාර්ය.
▶පිරිසිදු කාමර නිෂ්පාදනය, පරීක්ෂා කිරීම සහ ඇසුරුම් කිරීම සඳහා වඩාත් සුදුසුය.— පාලිත පරිසරවල භාවිතය සඳහා පරිපූර්ණයි.
▶100% අඛණ්ඩතා පරීක්ෂණය- සෑම පෙරහනක්ම තත්ත්ව සහතිකය සඳහා පුළුල් අඛණ්ඩතා පරීක්ෂණයකට භාජනය වේ.
▶100% හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණය— තීරණාත්මක යෙදුම්වල විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා හීලියම් කාන්දු පරීක්ෂණ හරහා සත්‍යාපනය කර ඇත.
දත්ත පත
තාක්ෂණික පරාමිතීන්
| පරාමිතිය | පිරිවිතර |
|---|---|
| පෙරහන් මූලද්‍රව්‍ය ද්රව්ය | 316L මල නොබැඳෙන වානේ කුඩු සින්ටර් කර ඇත |
| නිවාස ද්රව්ය | 316L මල නොබැඳෙන වානේ |
| උපරිම ආදාන පීඩනය | බාර් 207 |
| උපරිම මෙහෙයුම් අවකල පීඩනය | බාර් 5.2 |
| හීලියම් වලංගුකරණ කාන්දු අනුපාතය | 2 x 10⁻¹⁰ සීසී/මිනි |
| හීලියම් පරීක්ෂණ කාන්දු අනුපාතය | 1 x 10⁻¹⁰ සීසී/මිනි |
| මතුපිට ප්රතිකාර | |
| බාහිර මතුපිට | Ra < 1.6 μm |
| අභ්‍යන්තර මතුපිට | Ra < 0.2 μm |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | |
| නිෂ්ක්‍රීය වායුව | 400-500℃ |
| විඛාදන සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුව | 50℃ උෂ්ණත්වය |
| අංශු රඳවා ගැනීමේ කාර්යක්ෂමතාව | ≥99.9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| පහළට ගලා යන පිරිසිදුකම | ≤0.03 අංශු/ලීටරය @ > 0.01 μm, 30 slpm |
| අංශු රඳවා ගැනීමේ ප්‍රමාණය | ≥0.003 μm |
ප්‍රමාණය
ඔබට ඇණවුම් කළ හැකි කොටස් අංකය සහ ප්‍රමාණය පිළිබඳ විස්තර මෙන්න:
| නිෂ්පාදන ආකෘතිය | පෙරහන් මූලද්‍රව්‍ය ද්රව්ය | පෙරීමේ නිරවද්‍යතාවය (μm) | සම්බන්ධතා වර්ගය |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 හඳුන්වා දීම | 316L මල නොබැඳෙන වානේ | 10~0.003 | 1/4" |
| Z01B-00648 හඳුන්වා දීම | 316L මල නොබැඳෙන වානේ | 10~0.003 | 1/2" |
| Z01B-00649 හඳුන්වා දීම | 316L මල නොබැඳෙන වානේ | 10~0.003 | 1/8" |
| Z01B-00650 හඳුන්වා දීම | 316L මල නොබැඳෙන වානේ | 10~0.003 | 1" |
| අභිරුචිකරණය කළ හැකි | 316L මල නොබැඳෙන වානේ | 10~0.003 | අවශ්‍ය පරිදි |
සාමාන්‍ය යෙදුම්
සමහර සාමාන්‍ය යෙදුම්ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් තොග සහ උපයෝගිතා පෙරහන්සහගෑස් පෑඩ් එකේ ගෑස් ප්‍රවාහ ප්‍රවාහ පෙරහන්:
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය
*වේෆර් නිෂ්පාදනය, කැටයම් කිරීම සහ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) ක්‍රියාවලීන් සඳහා අතිශය පිරිසිදු වායු සැපයුම සහතික කරයි.
*නයිට්‍රජන්, ආගන් සහ අනෙකුත් වාහක වායු සඳහා තොග වායු බෙදා හැරීමේ පද්ධතිවල ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් පවත්වා ගනී.
2.ඖෂධ නිෂ්පාදනය
*තීරණාත්මක නිෂ්පාදන පරිසරයන් සඳහා වඳ සහ අංශු-නිදහස් වායුව සපයයි.
*නිෂ්පාදන අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා පිරිසිදු කාමර සහ පාලිත පරිසරයන් සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පෙරීමට සහාය වේ.
3. රසායනාගාර වායු පද්ධති
*ගෑස් වර්ණදේහ විද්‍යාව සහ ස්කන්ධ වර්ණාවලීක්ෂය වැනි විශ්ලේෂණ උපකරණවල වායු ප්‍රවාහ පිරිසිදු කිරීම සඳහා රසායනාගාර සැකසුම් තුළ භාවිතා වේ.
*පර්යේෂණ සහ පරීක්ෂණ යෙදුම් සඳහා අධි-සංශුද්ධතා වායු සහතික කරයි, සංවේදී උපකරණ ආරක්ෂා කරයි.
4.ආහාර සහ පාන වර්ග සැකසීම
*කාබනීකරණය, ඇසුරුම්කරණය සහ ගබඩා කිරීමේදී භාවිතා කරන CO₂ සහ අනෙකුත් වායූන් පෙරහන් කරයි, ආහාර සුරක්ෂිතතාව සහ ගුණාත්මකභාවය පවත්වා ගනී.
*විශේෂයෙන් තොග ගෑස් උපයෝගිතා සඳහා සැකසුම් කම්හල්වල දූෂණයෙන් තොර ගෑස් සැපයුම සහතික කරයි.
5.තෙල් සහ ගෑස් කර්මාන්තය
*ගෑස් පෑඩ් පෙරීමේදී ස්වාභාවික වායු ප්‍රවාහ පිරිසිදු කරයි, ගබඩා කිරීමට හෝ ප්‍රවාහනයට පෙර දූෂක ඉවත් කරයි.
*අධි පීඩන වායු ප්‍රවාහ පද්ධතිවල අංශු, තෙතමනය සහ අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමෙන් පහළට ගලා යන උපකරණ ආරක්ෂා කරයි.
6.රසායනික නිෂ්පාදනය
*රසායනික සංස්ලේෂණය සහ ප්‍රතික්‍රියා සඳහා භාවිතා කරන නයිට්‍රජන් සහ ආගන් වැනි උපයෝගිතා වායු පෙරහන් කරයි.
*දූෂණය සහ ප්‍රතික්‍රියා නොගැලපීම් වැළැක්වීම සඳහා වායු සංශුද්ධතාවය පවත්වා ගනී.
7.අභ්‍යවකාශය සහ ආරක්ෂාව
*අභ්‍යවකාශ ද්රව්ය සහ සංරචක සඳහා නිෂ්පාදන සහ පරීක්ෂණ පරිසරයන්හිදී අධි-සංශුද්ධතා වායු ලබා දෙයි.
*ගුවන් යානා සහ ආරක්ෂක උපකරණ එකලස් කිරීම සඳහා පාලිත පරිසරයන් තුළ ස්ථාවර වායු සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි.
8.බලශක්ති නිෂ්පාදනය (විදුලි බලාගාර)
*විශේෂයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්ව සැකසුම් වලදී සිසිලනය සහ ක්‍රියාවලි යෙදුම් සඳහා අධි පීඩන වායූන් පෙරීම සිදු කරයි.
*ගෑස් සිසිලන සහ ප්‍රවාහ පද්ධතිවල දූෂණය වැළැක්වීම මගින් කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන අතර උපකරණ ගෙවී යාම අඩු කරයි.
මෙම එෆ්පිරිසිදු, ස්ථාවර වායු ප්‍රවාහයක් අවශ්‍ය, උපකරණ ආරක්ෂාව වැඩි දියුණු කරන ඕනෑම යෙදුමකදී ඉල්ටර් අත්‍යවශ්‍ය වේ,
ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව සහ කර්මාන්ත හරහා අවසාන නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය.
ඔබගේ පණිවිඩය අපට එවන්න:
