අති-පිරිසිදු අර්ධ සන්නායක වායු පද්ධති සඳහා උසස් IGS මතුපිට සවිකිරීමේ C-සීල් පෙරහන්
විස්තර
HENGKO මතුපිට සවිකිරීමේ පෙරහන් අර්ධ සන්නායක OEM මෙවලම්වල භාවිතා කරන ඒකාබද්ධ වායු පද්ධතිවල ඉල්ලුම් අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. 0.003 µm දී කර්මාන්තයේ ප්‍රමුඛ පෙරහන ලබා දෙන මෙම පෙරහන්, 120 slpm දී ≥99.9999999% (9-LRV) අංශු අන්තර්ක්‍රියා කාර්යක්ෂමතාවයක් සමඟ සුවිශේෂී කාර්ය සාධනය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
පෙරහන් මූලද්‍රව්‍යය සහ නිවාස සඳහා සින්ටර් කරන ලද ශක්තිමත් 316L මල නොබැඳෙන වානේ කුඩු වලින් සාදා ඇති මෙම පෙරහන්, C-seal වින්‍යාසයක් සහිත 1.125" ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති සඳහා සකස් කරන ලද ද්වි-වරාය සංරචක වලින් සමන්විත SEMI F86-0304 පිරිවිතරයන්ට අනුකූල වේ. ඒවා 100°C දී 3.4 MPa උපරිම ආදාන පීඩනයක් සහ 100°C දී 0.69 MPa උපරිම මෙහෙයුම් පීඩන අවකලනයකට සහය දක්වයි.
C-වර්ගය සහ W-වර්ගයේ මුද්‍රා පිරිවිතර දෙකටම අනුකූල වන මෙම විශේෂිත පෙරහන්, අංශු මුදා හැරීමත් සමඟ පහළට පිරිසිදුකම ලබා ගනී.
Ra මතුපිට නිමාවක් සහිතවබාහිරව < 1.6 µm සහ Raඅභ්‍යන්තරයේ < 0.13 µm, ඒවා 460°C දක්වා ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දෙන පරිදි නිර්මාණය කර ඇත. පහසු ඒකාබද්ධ කිරීම සහ මොඩියුලර් සැලසුම් වැඩිදියුණු කිරීම් සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මෙම පෙරහන්, ස්ථාපනය සහ නඩත්තුව සරල කරයි, අර්ධ සන්නායක වායු බෙදාහැරීමේ සහ පාලන යෙදුම්වල පද්ධති ක්‍රියාකාරිත්වය ප්‍රශස්ත කිරීමට උපකාරී වේ.
නිෂ්පාදන විශේෂාංගය
▶ සමස්ත 316L මල නොබැඳෙන වානේ ඉදිකිරීම්
▶ කුඩා නිර්මාණය, සංයුක්ත ව්‍යුහය, ඉඩ ඉතිරි කිරීම
▶ විශිෂ්ට වායු ප්‍රතිස්ථාපන සහ අවශෝෂණ ලක්ෂණ
▶ ඉහළ උෂ්ණත්වය, අධි පීඩනය සහ විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී
▶ විද්‍යුත් ඔප දැමූ 316L මල නොබැඳෙන වානේ නිවාස
▶ පහසු සහ කාර්යක්ෂම ස්ථාපනය සහ නඩත්තුව
▶ යාන්ත්‍රික මුද්‍රා තැබීම, ව්‍යුහාත්මකව මාධ්‍යයට වෑල්ඩින් නොකෙරේ
දත්ත පත
| තාක්ෂණික පරාමිතීන් | වටිනාකම් |
|---|---|
| පෙරහන් මූලද්‍රව්‍ය ද්රව්ය | 316L මල නොබැඳෙන වානේ සින්ටර් කළ කුඩු |
| නිවාස ද්රව්ය | 316L මල නොබැඳෙන වානේ |
| උපරිම ආදාන පීඩනය | 100°C උෂ්ණත්වයේ දී 3.4 MPa |
| උපරිම මෙහෙයුම් අවකලනය | 100°C උෂ්ණත්වයකදී 0.69 MPa |
| හීලියම් සත්‍යාපන කාන්දු අනුපාතය | 1x10⁻¹¹ සීසී/මිනි |
| හීලියම් පරීක්ෂණ කාන්දු අනුපාතය | 1x10⁻⁹ සීසී/මිනි |
| මතුපිට ප්රතිකාර | පිටත මතුපිට Ra< 1.6 μm |
| අභ්‍යන්තර මතුපිට Ra< 0.13 μm | |
| උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | 460°C උෂ්ණත්වය |
| අංශු අන්තර් නිරෝධන කාර්යක්ෂමතාව | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (යොමු MPPS, සියලුම අංශු) |
| පහළට ගලා යන පිරිසිදුකම | අංශු මුදා හැරීම:< අංශු 0.03/ලීටරය (< 1 අංශුව/ft³) |
| වාෂ්පශීලී ද්රව්ය:< 10 ppb තෙතමනය | |
| අංශු අන්තර් නිරෝධන ප්‍රමාණය | ≥0.003 μm |
| ප්‍රවාහ පරාසය | 0 ~ 120 එස්එල්පීඑම් |
ප්‍රමාණය
ඔබට ඇණවුම් කළ හැකි කොටස් අංකය සහ ප්‍රමාණය පිළිබඳ විස්තර මෙන්න:
| නිෂ්පාදන ආකෘතිය | ප්‍රවාහ අනුපාතය | උස H (මි.මී.) | පෙරීමේ නිරවද්‍යතාවය | පිරිසිදු කිරීමේ මට්ටම |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 හඳුන්වා දීම | 10 එස්එල්පීඑම් | 51.6 ශ්‍රේණිය | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 හඳුන්වා දීම | 40 එස්එල්පීඑම් | 82.9 ශ්‍රේණිය | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 හඳුන්වා දීම | 80 එස්එල්පීඑම් | 126.2 යනු කුමක්ද? | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 හඳුන්වා දීම | 120 එස්එල්පීඑම් | 167.9 කි | 0.003 μm | C |
සාමාන්‍ය යෙදුම්
W-seal සහ C-seal සමඟ භාවිතය සඳහා, 1.125” සහ 1.5” මතුපිට සවිකිරීමේ මොඩියුලර් ගෑස් බෙදාහැරීමේ පද්ධති.
ඔබගේ පණිවිඩය අපට එවන්න:
