අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන්

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී ගෑස් පෙරහන් භාවිතා කිරීම අවශ්ය වන්නේ ඇයි? 

තීරනාත්මක හේතූන් කිහිපයක් සඳහා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී ගෑස් පෙරහන් අත්යවශ්ය වේ:

1. දූෂණය ඉවත් කිරීම

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයට සංවේදී ක්‍රියාවලීන් රාශියක් ඇතුළත් වන අතර එහිදී කුඩාම දූෂක පවා,

දූවිලි අංශු, තෙතමනය හෝ රසායනික අපද්‍රව්‍ය වැනි අහිතකර බලපෑම් ඇති කළ හැකිය. ගෑස් පෙරහන් ඉවත් කරන්න

පිරිසිදු පරිසරයක් සහතික කරමින් ක්‍රියාවලි වායූන්ගෙන් අංශු ද්‍රව්‍ය, අපද්‍රව්‍ය සහ වාතයෙන් පිටවන දූෂක

සහ අර්ධ සන්නායක වේෆර්වල අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම.

2. Ultra-Purity Standards පවත්වාගෙන යාම

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයට අපද්‍රව්‍යවලට හැකි වන පරිදි භාවිතා කරන වායූන්හි අතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් අවශ්‍ය වේ

අර්ධ සන්නායක උපාංගවල දෝෂ ඇති කරයි. ගෑස් ෆිල්ටර අතිශයින්ම පිරිසිදු වායු ගුණාත්මක භාවය ලබා ගැනීමට උපකාරී වේ, වැළැක්වීම

දූෂණය සහ නිෂ්පාදනවල අනුකූලතාව සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම.

3. උපකරණ ආරක්ෂා කිරීම

වායූන් තුළ ඇති අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය අර්ධ සන්නායක වේෆර්වලට හානි කරනවා පමණක් නොව සංවේදී ද්‍රව්‍යවලටද හානි කරයි.

රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් (CVD) ප්රතික්රියාකාරක වැනි නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී භාවිතා කරන උපකරණ සහ

කැටයම් පද්ධති. ගෑස් ෆිල්ටර් මෙම මිල අධික යන්ත්‍ර හානි වලින් ආරක්ෂා කරයි, අවදානම අඩු කරයි

අක්‍රීය කාලය සහ මිල අධික අලුත්වැඩියාවන්.

4. අස්වැන්න අහිමි වීම වැළැක්වීම

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී අස්වැන්න ඉතා වැදගත් වන අතර, දෝෂ නිසා නිෂ්පාදනයේ සැලකිය යුතු අලාභයක් සිදු විය හැක.

එක් අංශුවක් හෝ රසායනික අපද්‍රව්‍යයක් පවා අස්වැන්න අහිමි වීමට හේතු විය හැකි අතර එය ඵලදායිතාවයට සහ ලාභයට බලපායි.

ගෑස් ෆිල්ටර මඟින් ක්‍රියාවලි වායූන් පිරිසිදු බව, දූෂණය අවම කිරීම සහ අස්වැන්න අලාභය අවම කිරීම සහතික කරයි.

5. නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ දී අනුකූලතාව සහ ගුණාත්මකභාවය ඉතා වැදගත් වේ. දූෂිත වායූන් සෑදිය හැක

නොගැලපීම්, විශ්වාස කළ නොහැකි අර්ධ සන්නායක උපාංග වෙත යොමු කරයි. ගෑස් ෆිල්ටර භාවිතා කිරීමෙන් නිෂ්පාදකයන්ට හැකිය

සෑම කණ්ඩායමක්ම අවශ්‍ය දැඩි තත්ත්ව ප්‍රමිතීන් සපුරාලන බවට සහතික වන අතර එය ඉහළ උපාංගයකට මග පාදයි

කාර්ය සාධනය සහ කල්පැවැත්ම.

6. අක්‍රීය කාලය අඩු කිරීම

ක්‍රියාවලි වායූන් තුළ ඇති අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය උපකරණ අසාර්ථක වීමට හේතු විය හැක, නඩත්තු කිරීම හෝ ප්‍රතිස්ථාපනය අවශ්‍ය වේ.

ගෑස් ෆිල්ටර භාවිතා කිරීමෙන්, නිෂ්පාදකයින්ට අනපේක්ෂිත අක්‍රීය කාලය අඩු කිරීමට, මෙහෙයුම් කාර්යක්ෂමතාව පවත්වා ගැනීමට සහ

විවේචනාත්මක උපකරණවල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීම.

7. රසායනික අනුකූලතාව

අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන වායූන් බොහොමයක් ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී හෝ විඛාදනයට ලක් වේ. ගෑස් පෙරහන් වේ

මෙම කටුක රසායනික පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, ඵලදායී ලෙස අපද්රව්ය පෙරීම, සහතික කිරීම

ආරක්ෂිත සහ ඵලදායී සැකසුම්.

සමස්තයක් වශයෙන්, අර්ධ සන්නායකයේ සංශුද්ධතාවය, විශ්වසනීයත්වය සහ ආරක්ෂාව පවත්වා ගැනීම සඳහා ගෑස් පෙරහන් ඉතා වැදගත් වේ.

නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය, උසස් තත්ත්වයේ, දෝෂ රහිත අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ලබා ගැනීමට උපකාරී වේ

වටිනා උපකරණ ආරක්ෂා කිරීම ද.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ ගෑස් පෙරහන් වර්ග

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී විවිධ ආමන්ත්‍රණය සඳහා විවිධ වර්ගයේ ගෑස් ෆිල්ටර් භාවිතා වේ

වායු සංශුද්ධතාවය සහ උපකරණ ආරක්ෂාව සම්බන්ධ අදියර සහ අභියෝග.

බහුලව භාවිතා වන ගෑස් ෆිල්ටර් වර්ග වලට ඇතුළත් වන්නේ:

1. අංශු පෙරහන්

*අරමුණ: ක්‍රියාවලි වායු වලින් අංශු, දූවිලි සහ අනෙකුත් ඝන අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමට.

*භාවිතය: බොහෝ විට ෙව්ෆර්, සැකසුම් කුටි සහ උපකරණ අංශු දූෂණයෙන් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා විවිධ අවස්ථා වලදී ස්ථාපනය කර ඇත.

*ද්‍රව්‍ය: සාමාන්‍යයෙන් සින්ටර් කරන ලද මල නොබැඳෙන වානේ, PTFE හෝ කල්පැවැත්ම සහ රසායනික අනුකූලතාව සහතික කරන වෙනත් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇත.

2. අණුක හෝ රසායනික පෙරහන් (ගෙටර් පෙරහන්)

*අරමුණ: ක්‍රියාවලි වායූන් තුළ තිබිය හැකි තෙතමනය, ඔක්සිජන් හෝ කාබනික සංයෝග වැනි විශේෂිත අණුක දූෂක ඉවත් කිරීමට.

*භාවිතය: තැන්පත් වීම හෝ කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් වැනි අධි සංශුද්ධතා වායුව අවශ්‍ය වූ විට භාවිතා වේ.

*ද්‍රව්‍ය: බොහෝ විට අණුක අපද්‍රව්‍ය හසුකර ගැනීමට විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇති සක්‍රිය අඟුරු, zeolite හෝ වෙනත් adsorbent ද්‍රව්‍ය භාවිතයෙන් ඉදිකර ඇත.

3. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක භාවයට සුළු අපිරිසිදුකම බලපෑ හැකි අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් සඳහා ඉතා වැදගත් වන අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය (UHP) වායු ප්‍රමිතීන් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා.

*භාවිතය: මෙම පෙරහන් රසායනික වාෂ්ප තැන්පතු (CVD) සහ ප්ලාස්මා කැටයම් වැනි ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වන අතර, එහිදී අපද්‍රව්‍ය බරපතල දෝෂ ඇති කළ හැක.

*ද්‍රව්‍ය: ඉහළ පීඩනය සහ ආන්තික තත්වයන් යටතේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා විශේෂිත පටල සහිත මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇත.

4. තොග ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: නිෂ්පාදන රේඛාවලට ඇතුල් වන ස්ථානයේ හෝ බෙදා හැරීමට පෙර වායූන් පිරිසිදු කිරීම.

*භාවිතය: තනි තනි මෙවලම් හෝ ප්‍රතික්‍රියාකාරක වෙත සැපයීමට පෙර තොග වශයෙන් වායූන් පෙරීමට ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිය තුළ උඩුගං බලා ස්ථානගත කර ඇත.

*ද්‍රව්‍ය: මෙම පෙරහන් බොහෝ විට විශාල වායූන් හැසිරවීමට ඉහළ ධාරිතාවක් ඇත.

5. භාවිත ලක්ෂ්‍යය (POU) ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: එක් එක් විශේෂිත සැකසුම් මෙවලම වෙත ලබා දෙන වායූන් කිසිදු අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍යයකින් තොර බව සහතික කිරීම.

*භාවිතය: කැටයම් කිරීම හෝ තැන්පත් කිරීමේ කුටි වැනි ක්‍රියාවලි උපකරණවලට වායූන් හඳුන්වා දීමට මොහොතකට පෙර ස්ථාපනය කර ඇත.

*ද්‍රව්‍ය: සින්ටර් කරන ලද ලෝහ හෝ PTFE වැනි අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි වල භාවිතා වන ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායු සමග ගැළපෙන ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇත.

6. පේළිගත ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: බෙදාහැරීමේ පද්ධතිය හරහා ගමන් කරන වායූන් සඳහා පේළිගත පෙරහන සැපයීම.

*භාවිතය: ප්‍රධාන ස්ථානවල ගෑස් මාර්ග තුළ ස්ථාපනය කර ඇත, පද්ධතිය පුරා අඛණ්ඩ පෙරීම සපයයි.

*ද්‍රව්‍ය: වායූන් සමඟ රසායනික අනුකූලතාව සහතික කිරීම සඳහා සින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේ හෝ නිකල්.

7. මතුපිට සවිකරන ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: අංශු සහ අණුක අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සඳහා ගෑස් පැනල් සංරචක මත සෘජුවම සවි කිරීම.

*භාවිතය: තද අවකාශවල බහුලව දක්නට ලැබෙන, මෙම පෙරහන් තීරනාත්මක යෙදුම්වල කාර්යක්ෂම භාවිත ලක්ෂ්‍ය පෙරහන සපයයි.

*ද්‍රව්‍ය: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන වායූන් සමඟ කල්පැවැත්ම සහ අනුකූලතාව සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් මල නොබැඳෙන වානේ.

8. උප-මයික්‍රෝන පෙරහන්

*අරමුණ: අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි සැලකිය යුතු දෝෂ ඇති කළ හැකි, බොහෝ විට උප-මයික්‍රෝන ප්‍රමාණ තරම් කුඩා, අතිශය කුඩා අංශු පෙරීමට.

*භාවිතය: ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි වැනි අතිශය පිරිසිදු වායු සැපයුමක් පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉහළම මට්ටමේ පෙරීම අවශ්‍ය වන ක්‍රියාවලීන්හි භාවිතා වේ.

*ද්‍රව්‍ය: කුඩාම අංශු පවා ඵලදායී ලෙස හසුකර ගත හැකි අධි-ඝනත්ව සින්ටර් කරන ලද ලෝහ හෝ සෙරමික් ද්රව්ය.

9. සක්රිය කාබන් පෙරහන්

*අරමුණ: කාබනික දූෂක සහ වාෂ්පශීලී වායු ඉවත් කිරීමට.

*භාවිතය: වේෆර් දූෂණය හෝ ප්‍රතික්‍රියා බාධා වැළැක්වීම සඳහා වායුමය අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කළ යුතු යෙදුම්වල භාවිතා වේ.

*ද්‍රව්‍ය: කාබනික අණු අවශෝෂණය කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති සක්රිය කාබන් ද්රව්ය.

10.සින්ටර් කරන ලද ලෝහ ගෑස් පෙරහන්

*අරමුණ: ව්‍යුහාත්මක ශක්තිය සහ අධි පීඩනයට ප්‍රතිරෝධය ලබා දෙන අතරම අංශු සහ අපද්‍රව්‍ය ඵලදායී ලෙස ඉවත් කිරීම.

*භාවිතය: ශක්තිමත් පෙරීම අවශ්‍ය වන අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලියේ බහු අවධීන් හරහා බහුලව භාවිතා වේ.

*ද්‍රව්‍ය: සාමාන්‍යයෙන් කටුක පරිසරයට සහ රසායනික ද්‍රව්‍යවලට ඔරොත්තු දීම සඳහා සින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේ හෝ වෙනත් ලෝහ මිශ්‍ර ලෝහවලින් සාදා ඇත.

11.හයිඩ්‍රොෆෝබික් ගෑස් ෆිල්ටර්

*අරමුණ: තෙතමනය හෝ ජල වාෂ්ප වායු ප්‍රවාහයට ඇතුළු වීම වැළැක්වීම සඳහා, එය තෙතමන ප්‍රමාණයට පවා සංවේදී වන ඇතැම් ක්‍රියාවලීන්හි තීරනාත්මක වේ.

*භාවිතය: බොහෝ විට වේෆර් වියළීම හෝ ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම වැනි ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වේ.

*ද්‍රව්‍ය: PTFE වැනි හයිඩ්‍රොෆෝබික් පටල, වායූන් තෙතමනය දූෂණයෙන් තොරව පවතින බව සහතික කිරීම සඳහා.

මෙම විවිධ වර්ගයේ ගෑස් ෆිල්ටර ඒවායේ නිශ්චිත ගුණාංග, ද්රව්යමය අනුකූලතාව සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්ගේ අද්විතීය කොන්දේසි සඳහා යෝග්යතාවය මත ප්රවේශමෙන් තෝරා ගනු ලැබේ. ඉහළම මට්ටමේ වායු සංශුද්ධතාවය පවත්වා ගැනීම, ක්‍රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සහ අර්ධ සන්නායක උපාංගවල දෝෂ වැළැක්වීම සඳහා පෙරහන් වල නිවැරදි සංයෝජනය අත්‍යවශ්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් ෆිල්ටර ගැන සමහර නිතර අසන ප්රශ්න

නිති අසන පැන 1:

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් යනු කුමක්ද සහ ඒවා වැදගත් වන්නේ ඇයි?

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ තීරණාත්මක සංරචක වේ.

ඒවා නිර්මාණය කර ඇත්තේ ක්‍රියාවලි වායූන් වැනි අපද්‍රව්‍ය සහ දූෂක ඉවත් කිරීමට යඔක්සිජන්,

නයිට්රජන්, හයිඩ්රජන් සහ විවිධ රසායනික වායු.

මෙම අපද්‍රව්‍ය අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ගුණාත්මකභාවය, අස්වැන්න සහ විශ්වසනීයත්වය කෙරෙහි සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකිය.

ගෑස් ප්‍රවාහයන් ඵලදායී ලෙස පෙරීමෙන්, අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් උපකාරී වේ:

1. ඉහළ සංශුද්ධතාවය පවත්වා ගන්න:

නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන වායූන් උපාංග ක්‍රියාකාරීත්වය පිරිහීමට ලක්විය හැකි දූෂක වලින් තොර බව සහතික කර ගන්න.

2.උපකරණ හානි වැළැක්වීම:

සංවේදී අර්ධ සන්නායක උපකරණ අංශු හා රසායනික දූෂණයෙන් ආරක්ෂා කරන්න, එය මිල අධික අක්‍රිය හා අලුත්වැඩියා කිරීමට හේතු විය හැක.

3. නිෂ්පාදන අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීම:

වැඩි නිෂ්පාදන අස්වැන්නක් ලබා දෙන වායුව මගින් අපද්‍රව්‍ය නිසා ඇති වන දෝෂ සහ අසාර්ථකත්වය අඩු කරන්න.

4.උපාංගයේ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කරන්න:

දූෂණය සම්බන්ධ ගැටළු හේතුවෙන් අර්ධ සන්නායක උපාංගවල දිගුකාලීන පිරිහීම අවම කරන්න.

නිතර අසන පැන 2:

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් වල පොදු වර්ග මොනවාද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ගෑස් ෆිල්ටර වර්ග කිහිපයක් භාවිතා කරනු ලැබේ, එක් එක් ඉවත් කිරීමට සැලසුම් කර ඇත

නිශ්චිත වර්ගවල දූෂක.

වඩාත් පොදු වර්ග ඇතුළත් වේ:

1. අංශු පෙරහන්:

මෙම පෙරහන් වායු ධාරා වලින් දූවිලි, තන්තු සහ ලෝහ අංශු වැනි ඝන අංශු ඉවත් කරයි.

ඒවා සාමාන්‍යයෙන් සින්ටර් කරන ලද ලෝහ, සෙරමික් හෝ පටල පෙරහන් වැනි ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇත.

2.රසායනික පෙරහන්:

මෙම පෙරහන් ජල වාෂ්ප, හයිඩ්‍රොකාබන සහ විඛාදන වායූන් වැනි රසායනික අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කරයි.

ඒවා බොහෝ විට සක්‍රිය කාබන් වැනි ද්‍රව්‍ය භාවිතා කරමින් අවශෝෂණ හෝ අවශෝෂණ මූලධර්ම මත පදනම් වේ.

අණුක පෙරන, හෝ රසායනික sorbents.

3.සංයෝජන පෙරහන්:

මෙම පෙරහන් වර්ග දෙකම ඉවත් කිරීම සඳහා අංශු සහ රසායනික පෙරහන් වල හැකියාවන් ඒකාබද්ධ කරයි

දූෂක. ඉහළ සංශුද්ධතාවය අත්‍යවශ්‍ය වන විවේචනාත්මක යෙදුම්වල ඒවා බොහෝ විට භාවිතා වේ.

නිතර අසන පැන 3:

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් තෝරාගෙන සැලසුම් කරන්නේ කෙසේද?

අර්ධ සන්නායක වායු ෆිල්ටර තෝරා ගැනීම සහ සැලසුම් කිරීම සඳහා සාධක කිහිපයක් ඇතුළත් වේ:

* ගෑස් සංශුද්ධතාවයේ අවශ්‍යතා:

නිශ්චිත වායු ප්‍රවාහය සඳහා අවශ්‍ය සංශුද්ධතාවය පෙරහනෙහි පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ ධාරිතාව තීරණය කරයි.

* ප්රවාහ අනුපාතය සහ පීඩනය:

පෙරීමට නියමිත වායුවේ පරිමාව සහ මෙහෙයුම් පීඩනය පෙරනයේ ප්‍රමාණය, ද්‍රව්‍ය සහ වින්‍යාසය කෙරෙහි බලපායි.

* දූෂිත වර්ගය සහ සාන්ද්‍රණය:

ගෑස් ප්රවාහයේ ඇති විශේෂිත දූෂක වර්ග පෙරහන් මාධ්ය තේරීම සහ එහි සිදුරු ප්රමාණය නියම කරයි.

*උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්රතාවය:

මෙහෙයුම් තත්ත්‍වයන් ෆිල්ටරයේ ක්‍රියාකාරීත්වයට සහ ආයු කාලයට බලපෑ හැකිය.

* පිරිවැය සහ නඩත්තුව:

ෆිල්ටරයේ ආරම්භක පිරිවැය සහ එහි අඛණ්ඩ නඩත්තු අවශ්යතා සැලකිල්ලට ගත යුතුය.

මෙම සාධක හොඳින් සලකා බැලීමෙන්, ඉංජිනේරුවන්ට නිශ්චිතව සපුරාලන ගෑස් පෙරහන් තෝරාගෙන සැලසුම් කළ හැකිය

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියක අවශ්‍යතා.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ගෑස් පෙරහන් කොපමණ වාරයක් ප්‍රතිස්ථාපනය කළ යුතුද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ගෑස් පෙරහන් ප්‍රතිස්ථාපන සංඛ්‍යාතය වර්ගය ඇතුළු සාධක කිහිපයක් මත රඳා පවතී.

ක්‍රියාවලිය, අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය මට්ටම සහ භාවිතා කරන විශේෂිත පෙරහන. සාමාන්යයෙන්, ගෑස් පෙරහන් නිතිපතා ප්රතිස්ථාපනය වේ

දූෂණය වීමේ අවදානම වැළැක්වීම සඳහා නඩත්තු කාලසටහන,බොහෝ විට සෑම මාස 6 සිට 12 දක්වා, භාවිත කොන්දේසි මත පදනම්ව

සහ පෙරහන් නිෂ්පාදකයාගේ නිර්දේශ.

කෙසේ වෙතත්, මෙහෙයුම් පරිසරය මත පදනම්ව ප්රතිස්ථාපන කාලසටහන් පුළුල් ලෙස වෙනස් විය හැක. උදාහරණයක් වශයෙන්:

*අධික අපවිත්‍ර ක්‍රියාවලි:

පෙරහන් ඉහළ මට්ටමකට නිරාවරණය වුවහොත් ඒවා නිතර නිතර ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමට අවශ්‍ය විය හැකිය

අංශු හෝ අණුක දූෂණය.

* විවේචනාත්මක යෙදුම්:

අතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතාවයක් ඉල්ලා සිටින ක්‍රියාවලි වලදී (උදා: ඡායා ශිලා විද්‍යාව), පෙරහන් බොහෝ විට ප්‍රතිස්ථාපනය වේ

ගෑස්වල ගුණාත්මකභාවය අවදානමට ලක් නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා පූර්වගාමීව.

ෆිල්ටරය හරහා අවකල පීඩනය අධීක්ෂණය කිරීම පෙරහනක් ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමට අවශ්‍ය විට තීරණය කිරීම සඳහා පොදු ක්‍රමයකි.

අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය සමුච්චය වන විට, ෆිල්ටරය හරහා පීඩනය පහත වැටීම වැඩි වන අතර, කාර්යක්ෂමතාවයේ අඩුවීමක් පෙන්නුම් කරයි.

ෆිල්ටරවල කාර්යක්ෂමතාව අඩුවීමට පෙර ඒවා ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම ඉතා වැදගත් වේ, ගෑස් සංශුද්ධතාවයේ කිසියම් කඩවීමක් සැලකිය යුතු දෝෂ ඇති කළ හැකි බැවින්,

අස්වැන්න අඩු කරයි, සහ උපකරණ හානිවලට පවා තුඩු දෙයි.

අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා ගෑස් පෙරහන් සෑදූ ද්රව්ය මොනවාද?

අර්ධ සන්නායක යෙදුම්වල භාවිතා වන ගෑස් ෆිල්ටර සෑදී ඇත්තේ ඉහළම සංශුද්ධතා ප්රමිතීන් පවත්වා ගත හැකි ද්රව්ය වලින්ය

සහ නිෂ්පාදනයේ දක්නට ලැබෙන කටුක පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දීම. පොදු ද්රව්ය ඇතුළත් වේ:

*මල නොබැඳෙන වානේ (316L): එහි රසායනික ප්රතිරෝධය, යාන්ත්රික ශක්තිය, සහ නිසා බහුලව භාවිතා වන ද්රව්යය

සින්ටර් කිරීමේ තාක්‍ෂණය භාවිතයෙන් නිවැරදි සිදුරු ප්‍රමාණයෙන් නිපදවීමේ හැකියාව. ප්රතික්රියාකාරක දෙකම පෙරීම සඳහා සුදුසු වේ

සහ නිෂ්ක්රිය වායු.

*PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE යනු ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී හෝ විඛාදනයට ලක්වන පෙරීම සඳහා භාවිතා කරන රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය ද්‍රව්‍යයකි

වායූන්. එය විශිෂ්ට රසායනික අනුකූලතාවයක් සහ ජලභීතික ගුණ ඇති අතර, එය තෙතමනය-සංවේදී සඳහා සුදුසු වේ

ක්රියාවලීන්.

* නිකල් සහ හැස්ටෙලෝයි:

මෙම ද්රව්ය ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදුම් සඳහා හෝ ආක්රමණශීලී රසායනික ද්රව්ය සම්බන්ධ ක්රියාවලීන් සඳහා භාවිතා වේ

එහිදී මල නොබැඳෙන වානේ දිරාපත් විය හැක.

*සෙරමික්:

සෙරමික් ෆිල්ටර භාවිතා කරනුයේ ආන්තික උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය අවශ්‍ය වන යෙදුම් සඳහා හෝ උප මයික්‍රෝන සඳහාය

අංශු පෙරීම.

ද්රව්ය තෝරාගැනීම ගෑස් වර්ගය, ප්රතික්රියාකාරක විශේෂවල පැවැත්ම, උෂ්ණත්වය සහ

අනෙකුත් ක්රියාවලි පරාමිතීන්. කිසිදු අපද්‍රව්‍යයක් හඳුන්වා නොදෙන බව සහතික කිරීම සඳහා ද්‍රව්‍ය ප්‍රතික්‍රියාශීලී නොවිය යුතුය

හෝ අංශු ක්රියාවලිය තුළට, එමගින් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්ය වායු සංශුද්ධතා මට්ටම් පවත්වා ගැනීම.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී Point-of-Use (POU) පෙරහන් වල කාර්යභාරය කුමක්ද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ප්‍රයෝජනයට ගැනීමේ ලක්ෂ්‍යය (POU) පෙරහන් අත්‍යවශ්‍ය වේ, මන්ද ඒවා වායූන් වහාම පිරිසිදු කර ඇති බව සහතික කරයි.

ක්‍රියාවලි මෙවලම් ඇතුළු කිරීම. මෙම ෆිල්ටර මගින් ගෑස් ප්‍රවාහයට ඇතුළු වී ඇති අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍යවලට එරෙහිව අවසාන ආරක්ෂාව සපයයි

ගබඩා කිරීමේදී, ප්‍රවාහනයේදී හෝ බෙදා හැරීමේදී, එමගින් ක්‍රියාවලි ස්ථායීතාවය සහ නිෂ්පාදන ගුණත්වය ඉහළ නැංවීම.

POU පෙරහන් වල ප්‍රධාන ප්‍රතිලාභ:

*අපවිත්‍ර වීම වේෆරයට පැමිණීම වැළැක්වීම සඳහා තීරණාත්මක උපකරණ (උදා, කැටයම් හෝ තැන්පත් කිරීමේ කුටි) ආසන්නයේ ස්ථානගත කර ඇත.

*ගෑස් හැසිරවීමේ පද්ධතිය හෝ පාරිසරික නිරාවරණය මගින් හඳුන්වා දිය හැකි අංශු සහ අණුක අපද්‍රව්‍ය දෙකම ඉවත් කරන්න.

*මෙම ක්‍රියාවලි මෙවලම වෙත ලබා දිය හැකි ඉහළම ගෑස් තත්ත්ව සහතික කිරීම, උපකරණ ආරක්ෂා කිරීම සහ නිෂ්පාදිත උපාංගවල ගුණාත්මකභාවය ඉහළ නැංවීම.

*ක්‍රියාවලි විචල්‍යතාවය අඩු කිරීම, අස්වැන්න වැඩි කිරීම සහ දෝෂ මට්ටම් අඩු කිරීම.

*සුළු අපද්‍රව්‍ය පවා ඵලදායිතාවයට සහ නිෂ්පාදන විශ්වසනීයත්වයට සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකි දියුණු අර්ධ සන්නායක පරිසරවල අත්‍යවශ්‍ය වේ.

ගෑස් පෙරහන් අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි උපකරණ අක්‍රිය වීම වළක්වන්නේ කෙසේද?

ගෑස් ෆිල්ටර මඟින් අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන්හි උපකරණ ක්‍රියා විරහිත වීම වළක්වයි

නිෂ්පාදන උපකරණවලට හානි කළ හැකි දූෂක. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය ඉහළ භාවිතය ඇතුළත් වේ

තැන්පතු කුටි, ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍ර සහ ඡායාරූප ශිලා පද්ධති ඇතුළු සංවේදී උපකරණ.

දූවිලි, තෙතමනය හෝ ප්‍රතික්‍රියාශීලී අපද්‍රව්‍ය වැනි අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය මෙම යන්ත්‍රවලට ඇතුළු වුවහොත් ඒවා විවිධ ගැටලු ඇති කළ හැක.

කපාට සහ තුණ්ඩ අවහිර කිරීමේ සිට වේෆර් මතුපිටට හෝ ප්‍රතික්‍රියාකාරක අභ්‍යන්තරයට හානි කිරීම දක්වා.

උසස් තත්ත්වයේ ගෑස් පෙරහන් භාවිතා කිරීමෙන්, නිෂ්පාදකයින් මෙම අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය හඳුන්වාදීම වළක්වයි, සම්භාවිතාව අඩු කරයි.

සැලසුම් නොකළ නඩත්තු සහ උපකරණ බිඳවැටීම්. මෙය ස්ථාවර නිෂ්පාදන කාලසටහන් පවත්වා ගැනීමට, අවම කිරීමට උපකාරී වේ

මිල අධික අක්‍රිය කාලය, සහ අලුත්වැඩියාවන් හෝ ප්‍රතිස්ථාපන සම්බන්ධ සැලකිය යුතු වියදම් මග හැරීම.

මීට අමතරව, හොඳින් නඩත්තු කරන ලද පෙරහන් ප්‍රවාහ පාලක, කපාට සහ ප්‍රතික්‍රියාකාරක වැනි ප්‍රධාන කොටස්වල ආයු කාලය දීර්ඝ කිරීමට උපකාරී වේ.

එමගින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ සමස්ත කාර්යක්ෂමතාව සහ ලාභදායිත්වය ඉහළ නැංවීම.

එබැවින් අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් පිළිබඳ විස්තර කිහිපයක් පරීක්ෂා කිරීමෙන් පසුව, ඔබට තවත් ප්රශ්න කිහිපයක් තිබේ නම්.

උසස් තත්ත්වයේ වායු පෙරීමේ විසඳුම් සමඟ ඔබේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය ප්‍රශස්ත කිරීමට සූදානම්ද?

විශේෂඥ මගපෙන්වීම සහ ඔබේ අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා අභිරුචි කළ විසඳුම් සඳහා අදම HENGKO අමතන්න.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් ෆිල්ටරය පිළිබඳ විස්තර කිහිපයක් පරීක්ෂා කිරීමෙන් පසු, ඔබට තවත් ප්‍රශ්න තිබේ නම් ?

උසස් තත්ත්වයේ වායු පෙරීමේ විසඳුම් සමඟ ඔබේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය ප්‍රශස්ත කිරීමට සූදානම්ද?

විශේෂඥ මගපෙන්වීම සහ ඔබේ අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා අභිරුචි කළ විසඳුම් සඳහා අදම HENGKO අමතන්න.

අපට විද්‍යුත් තැපැල් කරන්නka@hengko.comවැඩි විස්තර සඳහා.

ඔබේ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය ඉහළ නැංවීමට ඔබට උපකාර කිරීමට අපගේ කණ්ඩායම මෙහි සිටී.