අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන්:
චිප් සෑදීමේදී නිර්දෝෂී වායු සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ලෝකයේ, නිරවද්යතාවය සහ සංශුද්ධතාවය ප්රමුඛ වන අතර, ගුණාත්මකභාවය
ක්රියාවලියේ සාර්ථකත්වය තීරණය කිරීමේදී භාවිතා කරන වායූන් තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. අපිරිසිදුකම්, අපරිමිත මට්ටම්වල පවා,
මයික්රොචිප් වල සියුම් පරිපථයට විනාශයක් ඇති කළ හැකි අතර ඒවා දෝෂ සහිත සහ භාවිතයට ගත නොහැකි බවට පත් කරයි. ආරක්ෂා කිරීමට
මෙම තීරණාත්මක ක්රියාවලිය, අර්ධ සන්නායක වායු ෆිල්ටර නොනැසී පවතින භාරකරුවන් ලෙස, ඉතා සූක්ෂම ලෙස දූෂක ඉවත් කරයි
සහ නිෂ්පාදන මාර්ග හරහා ගලා යන වායූන්ගේ පෞරාණික ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල විශිෂ්ට ලක්ෂණ සහ ප්රතිලාභ රැසක් තිබේ
1. අති නවීන පිරිසිදු කාමර පරිසරයක නිර්මාණය කර ඇත
මෙම ෆිල්ටර උපත ලබන්නේ අති නවීන පිරිසිදු කාමරයක වන අතර, ඕනෑම විභව දූෂණයක් අවම කිරීම සඳහා නිර්මල තත්වයන් ඉතා සූක්ෂම ලෙස පවත්වා ගෙන යන පරිසරයකි. ඔවුන් පිරිසිදු කරන ලද වාතයේ වායුගෝලය යටතේ නිරවද්ය වෑල්ඩින් සමඟ ආරම්භ වන දැඩි නිෂ්පාදන ක්රියාවලියකට ලක් වේ. අධි පීඩන, පෙරූ නයිට්රජන් පවිත්ර කිරීමකින් පසුව සිදු කෙරෙන deionized water flush, ඕනෑම කල් පවතින අංශු ඉවත් කර අංශු වැගිරීමේ අවදානම අඩු කරයි.
2. සුවිශේෂී අංශු ඉවත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව
SEMI F38 සහ ISO 12500 පරීක්ෂණ ක්රම මගින් සකසා ඇති දැඩි ප්රමිතීන්ට අනුකූලව, 0.003μm අංශු සඳහා 9 LRV හි කැපී පෙනෙන පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාවයක් සහිතව, මෙම පෙරහන් චලනය වන කොටස් වලින් ජනනය වන ඕනෑම විඛාදනයකින් ජනනය වන අංශු සහ අංශු effectively ලදායී ලෙස ඉවත් කරයි, ප්රිස්ටීන් වල සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි. වායූන්.
3. සුපිරි යාන්ත්රික ශක්තිය
බොහෝ විට ඉහළ වායු පීඩනයක් භාවිතා කරන නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් සහ පරිසරයන්හි සුවිශේෂී ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සහතික කිරීම සඳහා දැඩි ලෙස පරීක්ෂා කර ඇති මෙම පෙරහන් ඔවුන්ගේ ජීවිත කාලය පුරාම නොසැලෙන කාර්ය සාධනයක් සපයයි.
4. ඉහළම කර්මාන්ත ප්රමිතීන් ඉක්මවා යාම
අර්ධ සන්නායක සැකසීම සඳහා දැඩි වායු හැසිරවීමේ පෙරීමේ අවශ්යතා අභිබවා යමින්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති විසින් ඉල්ලා සිටින තීරණාත්මක පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව, නිරවද්ය ප්රවාහ පාලනය සහ ආරක්ෂක ප්රමිතීන් සපුරාලීම සහතික කිරීම සඳහා මෙම පෙරහන් දැඩි පරීක්ෂණයකට භාජනය වේ.
5. ආරක්ෂාව සඳහා නොසැලෙන කැපවීම
දැවෙනසුළු, විඛාදන, විෂ සහිත සහ පයිරොෆොරික් ක්රියාවලි වායුවලට නිරාවරණය වීමෙන් ආරක්ෂා වීම සඳහා, පෙරහන් නිවාස ඉතා සූක්ෂම කාන්දුවීම් පරීක්ෂණයකට භාජනය වන අතර, ඒවා 1x10-9 atm scc/තත්පරයට වඩා අඩු සැලකිය යුතු කාන්දු වීමේ අනුපාතයක් ලබා ගැනීම සහතික කරයි. ආරක්ෂාව සඳහා වූ මෙම නොසැලෙන කැපවීම අනතුරුදායක වායූන් අඩංගු වන අතර හානියක් සිදු කිරීමෙන් වළක්වාලයි.
6. චිප් සෑදීමේ විශිෂ්ටත්වය සඳහා සම්මුති විරහිත සංශුද්ධතාවය
ඔවුන්ගේ සුවිශේෂී පෙරීමේ හැකියාවන්, ආරක්ෂාව සඳහා නොසැලෙන කැපවීම සහ ඉහළම කර්මාන්ත ප්රමිතීන්ට අනුකූල වීම තුළින් මෙම ගෑස් පෙරහන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ක්රියාවලිය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා ප්රධාන කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඔවුන් සංශුද්ධතාවයේ ආරක්ෂකයින් ලෙස පෙනී සිටින අතර, නිෂ්පාදන මාර්ග හරහා පිරිසිදුම වායූන් පමණක් ගලා යන බව සහතික කරමින්, අපගේ නවීන ලෝකයට බලය සපයන ඉහළ ක්රියාකාරී මයික්රොචිප් නිර්මාණය කිරීමට මග පාදයි.
අර්ධ සන්නායක පෙරහන් වර්ග
අර්ධ සන්නායක පෙරහන් විවිධ යෙදුම්වල භාවිතා වේ, ඇතුළුව:
* ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන:
අර්ධ සන්නායක ෆිල්ටර භාවිතා කරනුයේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අති පිරිසිදු ජලය, වායූන් සහ රසායනික ද්රව්ය වලින් අංශු ඉවත් කිරීමට ය.
* රසායනික යාන්ත්රික සැලසුම්කරණය (CMP):
අර්ධ සන්නායක ෆිල්ටර අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන CMP ස්ලරි වලින් අංශු ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.
* ජෛව වෛද්ය:
වෛද්ය රෝග විනිශ්චය සහ ප්රතිකාර සඳහා භාවිතා කරන තරලවල අංශු ඉවත් කිරීමට අර්ධ සන්නායක පෙරහන් භාවිතා කරයි.
* පාරිසරික:
අර්ධ සන්නායක පෙරහන් වාතයෙන් සහ ජලයෙන් අංශු ඉවත් කිරීමට භාවිතා කරයි.
අර්ධ සන්නායක පෙරහන් ප්රධාන වර්ග හතරක් ඇත:
1. පටල පෙරහන්:
පටල පෙරහන් සෑදී ඇත්තේ තුනී, සිදුරු සහිත පටලයකින් වන අතර එමඟින් අංශු හසුකර ගන්නා අතරතුර තරල හරහා යාමට ඉඩ සලසයි.
2. ගැඹුර පෙරහන්:
ගැඹුර පෙරහන් සෑදී ඇත්තේ ඝන, කටු සහිත ද්රව්ය ඇඳකින් වන අතර එමඟින් අංශු පෙරණය හරහා ගලා යන විට හසු වේ.
3. Adsorbent පෙරහන්:
Adsorbent ෆිල්ටර සෑදී ඇත්තේ අංශු ආකර්ෂණය කර ඒවා මත රඳවා තබා ගන්නා ද්රව්යයකිනි.
4. සින්ටර් ලෝහ පෙරහන්
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී බහුලව භාවිතා වන ගැඹුරු පෙරහන වර්ගයකි. ඒවා සාදා ඇත්තේ සිහින් ලෝහ කුඩු සිදුරු සහිත ව්යුහයකට සින්ටර් කිරීමෙනි. සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් ඒවායේ කල්පැවැත්ම, ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව හා පීඩනවලට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව සඳහා ප්රසිද්ධය.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල වාසි:
* ඉහළ කල්පැවැත්ම:
* ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව:
* දිගු ආයු කාලය:
* රසායනික අනුකූලතාව:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් වල යෙදුම්:
* ගෑස් පිරිසිදු කිරීම:
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අත්යවශ්ය අංගයක් වන අතර උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සහතික කිරීමට උපකාරී වේ.
විශේෂිත යෙදුමක භාවිතා කරන අර්ධ සන්නායක පෙරහන වර්ගය ඉවත් කරනු ලබන අංශුවල ප්රමාණය, පෙරන ලද තරල වර්ගය සහ අපේක්ෂිත පෙරීමේ මට්ටම මත රඳා පවතී.
විවිධ වර්ගයේ අර්ධ සන්නායක පෙරහන් සාරාංශ කරන වගුවක් මෙන්න:
පෙරහන් වර්ගය | විස්තරය | යෙදුම් | රූපය |
---|---|---|---|
පටල පෙරහන් | අංශු හසුකර ගන්නා අතරතුර තරල හරහා ගමන් කිරීමට ඉඩ සලසන තුනී, සිදුරු සහිත පටලයකින් සාදා ඇත. | ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන, CMP, ජෛව වෛද්ය, පාරිසරික | |
ගැඹුර පෙරහන් | ෆිල්ටරය හරහා ගලා යන අංශුවලට හසු වන ඝන, කටුක ද්රව්ය ඇඳකින් සාදා ඇත. | CMP, ජෛව වෛද්ය, පාරිසරික | |
Adsorbent පෙරහන් | අංශු ආකර්ෂණය කර රඳවා තබා ගන්නා ද්රව්යයකින් සාදා ඇත. | ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන, CMP, ජෛව වෛද්ය, පාරිසරික | |
සින්ටර් ලෝහ පෙරහන් | සිහින් ලෝහ කුඩු සිදුරු සහිත ව්යුහයකට සින්ටර් කිරීමෙන් සාදා ඇත. | ගෑස් පිරිපහදු කිරීම, රසායනික පෙරීම, අතිශුද්ධ ජල පෙරීම, CMP පොහොර පෙරීම | අර්ධ සන්නායක සඳහා සින්ටර් ලෝහ පෙරහන් |
යෙදුම
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ විවිධ යෙදුම්වල බහුලව භාවිතා වේ. ඉහළ පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව, කල්පැවැත්ම සහ ඉහළ උෂ්ණත්ව හා පීඩනවලට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව වැනි ඒවායේ අද්විතීය ගුණාංග, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතිවල අත්යවශ්ය අංගයක් බවට පත් කරයි.
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් වල විශේෂිත යෙදුම් කිහිපයක් මෙන්න:
1. වේෆර් නිෂ්පාදනය:
නයිට්රජන්, හයිඩ්රජන් සහ ඔක්සිජන් වැනි වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායූන් පිරිසිදු කිරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. මෙම වායූන් epitaxial වර්ධනය, කැටයම් කිරීම සහ මාත්රණය වැනි ක්රියාවලීන් සඳහා අත්යවශ්ය වේ.
2. රසායනික පෙරීම:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අම්ල, භෂ්ම සහ ද්රාවක වැනි රසායනික ද්රව්ය පෙරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. මෙම රසායනික ද්රව්ය පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම සහ ඔප දැමීම ඇතුළු විවිධ අරමුණු සඳහා භාවිතා වේ.
3. අති පිරිසිදු ජලය පෙරීම:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන අතිශුද්ධ ජලය (UPW) පෙරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. UPW වේෆර් පිරිසිදු කිරීම සහ සේදීම සඳහා මෙන්ම රසායනික ද්රව්ය සකස් කිරීම සඳහා අත්යවශ්ය වේ.
4. CMP පොහොර පෙරීම:
අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා භාවිතා කරන CMP පොහොර පෙරීමට සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා කරයි. CMP යනු මයික්රොචිප් නිපදවීමේ තීරණාත්මක ක්රියාවලියකි.
5. භාවිත ලක්ෂ්යය (POU) පෙරීම:
සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් බොහෝ විට POU ෆිල්ටර ලෙස භාවිතා කරයි, ඒවා ඉහළම මට්ටමේ පෙරීම සැපයීම සඳහා භාවිතා කරන ස්ථානයේ සෘජුවම ස්ථාපනය කර ඇත. මයික්රොප්රොසෙසර් සහ අනෙකුත් ඉහළ ක්රියාකාරී උපාංග නිෂ්පාදනය වැනි වායුවේ සංශුද්ධතාවය තීරණාත්මක වන යෙදුම් සඳහා POU ෆිල්ටර විශේෂයෙන් වැදගත් වේ.
6. අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායු හැසිරවීම:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායූන්ගෙන් අපවිත්ර ද්රව්ය ඉවත් කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායු හැසිරවීමේ පද්ධතිවල සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ. මෙම දූෂක අංශු, තෙතමනය සහ කාබනික සංයෝග ඇතුළත් විය හැක.
7. ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන:
පරිගණක, ටැබ්ලට්, ජංගම දුරකථන, IoT සංවේදක සහ පාලන උපාංග වැනි ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනයේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ.
8. ක්ෂුද්ර-විද්යුත් යාන්ත්රික පද්ධති (MEMS) පෙරීම:
ක්ෂුද්ර විද්යුත් යාන්ත්රික පද්ධති වලින් දූෂිත ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය වන MEMS පෙරීමේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ. සංවේදක, ක්රියාකාරක සහ පරිවර්තක ඇතුළු විවිධ යෙදුම්වල MEMS භාවිතා වේ.
9. දත්ත ගබඩා කිරීමේ උපාංග පෙරීම:
දෘඪ තැටි සහ ඝන-තත්ත්ව ධාවකයන් වැනි දත්ත ගබඩා කිරීමේ උපාංගවලින් අපවිත්ර ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය වන දත්ත ගබඩා උපාංග පෙරීමේදී සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් භාවිතා වේ.
මෙම විශේෂිත යෙදුම් වලට අමතරව, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වෙනත් විවිධ යෙදුම්වල සින්ටර් කරන ලද ලෝහ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් ද භාවිතා වේ. ඒවායේ බහුකාර්යතාව සහ විශ්වසනීයත්වය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා අත්යවශ්ය මෙවලමක් බවට පත් කරයි.
උසස් තත්ත්වයේ සින්ටර් ලෝහ අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් සඳහා සොයන්නේද?
HENGKO යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පද්ධතිවල OEM විසඳුම් සඳහා ඔබේ සහකරු වේ.
අපගේ නිරවද්ය-ඉංජිනේරු පෙරහන් ඔබේ ක්රියාවලීන්හි විශ්වසනීයත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව සහතික කරයි, ඔබට තරඟකාරී වෙළඳපලක දාරය ලබා දෙයි.
HENGKO හි පෙරහන් තෝරා ගන්නේ ඇයි?
* උසස් තත්ත්වයේ සහ කල්පැවැත්ම
* ඔබේ නිශ්චිත අවශ්යතාවලට සරිලන පරිදි අභිරුචි කළ විසඳුම්
* අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා වැඩි දියුණු කළ කාර්ය සාධනය
පෙරීමේ අභියෝග ඔබේ නිෂ්පාදනය අඩාල කිරීමට ඉඩ නොදෙන්න.
අපගේ සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන් ඔබේ නිෂ්පාදන පද්ධතියේ විප්ලවීය වෙනසක් ඇති කරන්නේ කෙසේදැයි ගවේෂණය කිරීමට අදම අප හා සම්බන්ධ වන්න.
අප අමතන්නka@hengko.com
HENGKO සමඟ හවුල් වී අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ විශිෂ්ටත්වය කරා පියවරක් තබන්න!