අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන යනු කුමක්ද?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය නවීන තාක්‍ෂණය බලගන්වයි, කැටයම් කිරීම, තැන්පත් කිරීම සහ ඡායාරූප ශිලා ලේඛනය වැනි නිශ්චිත ක්‍රියාවලීන් මත රඳා පවතී.

මෙම ක්‍රියාවලීන් සඳහා නයිට්‍රජන් සහ හයිඩ්‍රජන් වැනි අති-පිරිසිදු වායූන් ඉල්ලා සිටින අතර, නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා දූෂකවලින් තොර විය යුතුය.

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන්තෙතමනය, හයිඩ්‍රොකාබන සහ අංශු වැනි අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම, සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම මගින් තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.

කාර්යක්ෂම හා විශ්වසනීය නිෂ්පාදනය සඳහා අවශ්ය වේ.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන යනු කුමක්ද?

A අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහනඅංශු, තෙතමනය සහ හයිඩ්‍රොකාබන වැනි අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමට නිර්මාණය කර ඇති විශේෂිත පෙරීමේ උපකරණයකි.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන වායු. මෙම පෙරහන් කැටයම් කිරීම, තැන්පත් කිරීම සහ ලිතෝග්‍රැෆි වැනි ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍ය අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි.

එහිදී අන්වීක්ෂීය අපද්‍රව්‍ය පවා නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක භාවයට හානි කළ හැකිය.

මෙම පෙරහන් සාමාන්‍යයෙන් උසස් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇතසින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේ, PTFE (polytetrafluoroethylene), සහසෙරමික්, කුමන

විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධයක්, කල්පැවැත්මක් සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායු පද්ධති සමඟ අනුකූල වීම. අපිරිසිදු-නිදහස් වායු ධාරා පවත්වාගෙන යාමෙන්,

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් නවීන මයික්‍රොචිප් නිෂ්පාදනය සඳහා අත්‍යවශ්‍ය නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් වැදගත් වන්නේ ඇයි?

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍යවලට ඇදහිය නොහැකි තරම් සංවේදී වේ.

අන්වීක්ෂීය අපද්‍රව්‍ය පවා වේෆර්වල දෝෂ ඇති කළ හැකි අතර එය හේතු වේඅඩු අස්වැන්න,

උපාංගයේ ක්‍රියාකාරිත්වය අඩාල වීම සහ නිෂ්පාදන පිරිවැය වැඩි වීම.

පොදු දූෂකඇතුළත්:

* අංශු:

දූවිලි, ලෝහ රැවුල හෝ වෙනත් ඝන සුන්බුන්.

* තෙතමනය:

වේෆර් දිරාපත් කරන රසායනික ප්‍රතික්‍රියා ඇති කළ හැක.

*හයිඩ්‍රොකාබන:

අනවශ්‍ය අපද්‍රව්‍ය හඳුන්වා දීම හෝ රසායනික ක්‍රියාවලීන්ට බාධා කිරීම.

කැටයම් කිරීම හෝ තැන්පත් වීම වැනි තීරණාත්මක ක්‍රියාවලීන්හි අපිරිසිදු වායු අසමාන ස්ථර, දෝෂ සහිත පරිපථ,

සහ ප්රතික්ෂේප කළ චිප්ස්.

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන්

ගෑස් සංශුද්ධතාවය සහතික කිරීම, වේෆර් ගුණාත්මකභාවය ආරක්ෂා කිරීම සහ නිෂ්පාදන මාර්ගවල කාර්යක්ෂමතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්යවශ්ය වේ.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් වර්ග

1. අංශු පෙරහන්

*ගෑස් ප්‍රවාහ වලින් දූවිලි හා සුන්බුන් වැනි ඝන අංශු ඉවත් කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත.

*ගෑස් ප්‍රවාහය සීමා නොකර දූෂක ග්‍රහණය කර ගැනීමට අතිශය සියුම් සිදුරු ප්‍රමාණ (උදා, උප මයික්‍රෝන) විශේෂාංග කරන්න.

* කල්පැවැත්ම සහ රසායනික ප්‍රතිරෝධය සඳහා සාමාන්‍යයෙන් සින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේ වැනි ද්‍රව්‍ය වලින් සාදා ඇත.

2. අණුක දූෂක පෙරහන්

*තෙතමනය සහ හයිඩ්‍රොකාබන වැනි අණුක මට්ටමේ අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමට විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත.

*බොහෝ විට PTFE වැනි උසස් ද්‍රව්‍ය හෝ සක්‍රිය කාබන් රසායනිකව හෝ භෞතිකව අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය හසුකර ගැනීමට භාවිතා කරන්න.

*තෙතමනයට හෝ කාබනික අපද්‍රව්‍යවලට සංවේදී ක්‍රියාවලීන්හි අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.

3. ඒකාබද්ධ පෙරහන්

* අංශු සහ අණුක අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය යන දෙකම එකවර විසඳීමට බහු-ස්ථර පෙරීම ඉදිරිපත් කරන්න.

*විවිධ අපිරිසිදු පැතිකඩ සහිත ගෑස් ප්‍රවාහ සඳහා වඩාත් සුදුසුය.

* අංශු පෙරීම සහ රසායනික අවශෝෂක සඳහා සින්ටර් කරන ලද ද්‍රව්‍ය වැනි තාක්ෂණයන් ඒකාබද්ධ කරන්න

අණුක දූෂණය ඉවත් කිරීම සඳහා.

පෙරහන් සැලසුම් සහ තාක්ෂණයන් සංසන්දනය කිරීම

*සින්ටර් කරන ලද ලෝහ පෙරහන්:

අධි පීඩන පද්ධතිවල අංශු ඉවත් කිරීම සඳහා කල් පවතින හා ඵලදායී වේ.

*Membrane-පාදක පෙරහන්:

විශිෂ්ට අණු පෙරීම සපයන නමුත් අඩු පීඩනයක් අවශ්ය විය හැක.

*දෙමුහුන් පෙරහන්:

සංයුක්ත මෝස්තරවල විස්තීර්ණ පෙරීම සඳහා සින්ටර් සහ පටල තාක්ෂණයන් ඒකාබද්ධ කරන්න.

ෆිල්ටරය තෝරා ගැනීම විශේෂිත වායුව, මෙහෙයුම් තත්ත්වයන් සහ දූෂණය වීමේ අවදානම මත රඳා පවතී

අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලිය.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් වල ප්රධාන ලක්ෂණ

1. පෙරීමේ කාර්යක්ෂමතාව

* කුඩාම අංශු සහ අණුක අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය පවා ඉවත් කිරීමට උප මයික්‍රෝන මට්ටමේ පෙරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත.

*සංවේදී අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලීන් සඳහා අතිශයින් ඉහළ සංශුද්ධතා වායූන් ඉතා වැදගත් වේ.

2. ඉහළ තාප සහ රසායනික ප්රතිරෝධය

*අධික උෂ්ණත්වයට ඔරොත්තු දීම සඳහා සින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේ සහ PTFE වැනි ද්‍රව්‍ය වලින් ඉදිකර ඇත

සහ විඛාදන වායු.

*ප්‍රතික්‍රියාශීලී හෝ අධික උෂ්ණත්ව පරිසරයන් සම්බන්ධ විවිධ යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ.

3. කල්පැවැත්ම සහ දිගු සේවා කාලය

*අවම පිරිහීමක් සහිතව දිගුකාලීන භාවිතය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති අතර, ප්‍රතිස්ථාපන වාර ගණන සහ අක්‍රිය කාලය අඩු කරයි.

*ද්‍රව්‍ය දිරාපත්වීමට සහ ඉරීමට ප්‍රතිරෝධී වන අතර, දීර්ඝ කාලයක් පුරා කාර්ය සාධනය පවත්වා ගැනීම.

4. Ultra-High Purity Gas Systems සමඟ ගැළපීම

*අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය හඳුන්වා දීමකින් තොරව ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් නල මාර්ගවලට බාධාවකින් තොරව ඒකාබද්ධ කිරීමට නිර්මාණය කර ඇත.

*අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සහතික කරමින් සංශුද්ධතාවය සඳහා කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම.

මෙම ලක්ෂණ අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් කාර්යක්ෂමතාව, විශ්වසනීයත්වය සහ සහතික කිරීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වේ.

උසස් නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ ගුණාත්මකභාවය.

අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් වල යෙදුම්

1. අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි

* කැටයම් කිරීම:

ෆිල්ටර මගින් වේෆර් මත කැටයම් කර ඇති රටා වල දෝෂ වැළැක්වීම සඳහා අතිශය පිරිසිදු වායූන් සහතික කරයි.

* තැන්පත් කිරීම:

රසායනික හා භෞතික වශයෙන් ඒකාකාර තුනී පටල නිර්මාණය කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වායු අවශ්ය වේ

වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD සහ PVD) ක්රියාවලීන්.

*ලිතෝග්රැෆි:

ගෑස් ෆිල්ටර අපද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීමෙන් ඡායාරූප ශිලා ක්‍රියාවලීන්හි නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගනී

මැදිහත් විය හැකි බවආලෝකය නිරාවරණය හෝ රසායනික ප්රතික්රියා සමඟ.

2. පෙරීම අවශ්‍ය වායු

*නයිට්‍රජන් (N₂):

පිරිසිදු කිරීම සඳහා සහ වාහක වායුවක් ලෙස භාවිතා කරයි, දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා නිරපේක්ෂ සංශුද්ධතාවය අවශ්ය වේ.

*ආගන් (Ar):

ප්ලාස්මා ක්‍රියාවලි සහ තැන්පත් වීම සඳහා අත්‍යවශ්‍ය වන අතර, එහිදී අපද්‍රව්‍ය ස්ථායීතාවයට බාධා කළ හැක.

* ඔක්සිජන් (O₂):

ඔක්සිකරණ සහ පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වන අතර, දූෂක-නිදහස් සැපයුම අවශ්ය වේ.

*හයිඩ්‍රජන් (H₂):

අඩු අපිරිසිදු ටෝල් සමඟ, තැන්පත් වීම සහ කැටයම් කිරීමේදී පරිසරය අඩු කිරීම සඳහා තීරණාත්මක වේධාවන

3. අර්ධ සන්නායක වලින් ඔබ්බට කර්මාන්ත

*ඖෂධ:

සංවේදී නිෂ්පාදන නිෂ්පාදනය සහ ඇසුරුම් කිරීම සඳහා අති පිරිසිදු වායු.

* අභ්‍යවකාශය:

නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් පිරිසිදු වායු පරිසරයන් මත රඳා පවතී.

*ආහාර පාන:

පෙරහන් ඇසුරුම් කිරීම සහ සැකසීම සඳහා දූෂණයෙන් තොර වායූන් සහතික කරයි.

මෙම දෙකෙහිම නිරවද්‍යතාවය, කාර්යක්ෂමතාව සහ ගුණාත්මකභාවය සක්‍රීය කිරීම සඳහා අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් ඉතා වැදගත් වේ.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයසහ අනෙකුත් ඉහළ පිරිසිදු යෙදුම්.

නිවැරදි අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන තෝරා ගන්නේ කෙසේද?

1. සලකා බැලිය යුතු සාධක

*ගෑස් වර්ගය: විවිධ වායූන්ට විවිධ දූෂණ අවදානම් ඇත (උදා: නයිට්‍රජන් සඳහා තෙතමනය, හයිඩ්‍රජන් සඳහා හයිඩ්‍රොකාබන). නිශ්චිත වායුව සඳහා සකස් කරන ලද පෙරහන තෝරන්න.

* ප්රවාහ අනුපාතය: ෆිල්ටරයට කාර්යක්ෂමතාවයෙන් තොරව හෝ පීඩන පහත වැටීම් හඳුන්වා දීමකින් තොරව අවශ්ය වායු ප්රවාහය හැසිරවිය හැකි බවට සහතික වන්න.

*මෙහෙයුම් පීඩනය: විශේෂයෙන්ම අධි පීඩන පරිසරයක ඔබේ පද්ධතියේ පීඩන පරාසය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති පෙරහනක් තෝරන්න.

* ගැළපුම: පෙරහන් ද්‍රව්‍ය ගෑස් සහ අනෙකුත් පද්ධති සංරචක සමඟ රසායනිකව අනුකූලදැයි තහවුරු කරන්න.

2. සිදුරු ප්රමාණය සහ ද්රව්ය තෝරාගැනීමේ වැදගත්කම

* සිදුරු ප්‍රමාණය: අපේක්ෂිත කාර්යක්ෂමතාවයෙන් අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සඳහා සුදුසු සිදුරු ප්‍රමාණයන් සහිත පෙරහනක් තෝරන්න (උදා, විවේචනාත්මක යෙදුම් සඳහා උප-මයික්‍රෝන මට්ටම්).

* ද්රව්ය: වැනි කල් පවතින ද්රව්ය සඳහා තෝරා ගන්නසින්ටර් කළ මල නොබැඳෙන වානේඅංශු සඳහා හෝ අණුක දූෂක සඳහා PTFE, විඛාදනයට, තාපයට සහ පීඩනයට ප්රතිරෝධය සහතික කිරීම.

3. නඩත්තු කිරීම සහ ප්රතිස්ථාපනය සඳහා උපදෙස්

*ක්‍රමානුකූලව ෆිල්ටර් අවහිරවීම්, ඇඳීම් හෝ අඩු කාර්ය සාධනය සඳහා පරීක්ෂා කරන්න.

*දූෂණය ගොඩනැගීම වැළැක්වීම සඳහා පෙරහන් පිරිසිදු කිරීම හෝ ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම සඳහා නිෂ්පාදකයාගේ මාර්ගෝපදේශ අනුගමනය කරන්න.

*පෙරන කාර්යක්ෂමතාව නිරීක්ෂණය කිරීමට සහ ප්‍රතිස්ථාපන අවශ්‍ය විට හඳුනා ගැනීමට, තිබේ නම්, අධීක්ෂණ මෙවලම් භාවිතා කරන්න.

මෙම සාධක හොඳින් ඇගයීමට ලක් කිරීමෙන් සහ පෙරහන් නිසි ලෙස නඩත්තු කිරීමෙන්, ඔබට අර්ධ සන්නායක යෙදුම්වල ප්‍රශස්ත වායු සංශුද්ධතාවය සහ පද්ධති ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කළ හැකිය.

අර්ධ සන්නායක ගෑස් පෙරහන් තාක්ෂණයේ දියුණුව

1. ද්‍රව්‍ය විද්‍යාවේ නවෝත්පාදන

*නැනෝ අංශු පෙරීම: අණුක හෝ පරමාණුක මට්ටමින් අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය හසුකර ගැනීමට හැකි උසස් ද්‍රව්‍ය සංවර්ධනය කිරීම.

මෙය අතිශය සංවේදී අර්ධ සන්නායක ක්‍රියාවලි සඳහා ඊටත් වඩා ඉහළ වායු සංශුද්ධතාවක් සහතික කරයි.

*දෙමුහුන් ද්‍රව්‍ය: කල්පවත්නා සහ ෆිල්ටර නිර්මාණය කිරීම සඳහා උසස් පොලිමර් සමඟ සින්ටර් කරන ලද ලෝහ ඒකාබද්ධ කිරීම

විවිධ දූෂක ඉවත් කිරීම සඳහා ඉතා ඵලදායී.

2. ස්මාර්ට් පෙරීමේ පද්ධති

*බිල්ට් අධීක්ෂණ හැකියාවන්:

පෙරහන් කාර්ය සාධනය, පීඩන පහත වැටීම් සහ තත්‍ය කාලීන දූෂණ මට්ටම් නිරීක්ෂණය කරන සංවේදක ඒකාබද්ධ කිරීම.

* පුරෝකථන නඩත්තු කිරීම:

පෙරහනක් පිරිසිදු කිරීම හෝ ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම, අක්‍රිය කාලය අඩු කිරීම සහ නඩත්තු කාලසටහන් ප්‍රශස්ත කිරීම අවශ්‍ය වූ විට ස්මාර්ට් පද්ධති ක්‍රියාකරුවන්ට දැනුම් දෙයි.

3. තිරසාර සහ බලශක්ති කාර්යක්ෂම නිර්මාණ

*පරිසර හිතකාමී ද්‍රව්‍ය:

අපද්රව්ය අවම කිරීම සඳහා ප්රතිචක්රීකරණය කළ හැකි හෝ පරිසර හිතකාමී සංරචක වලින් සාදන ලද පෙරහන්.

*බලශක්ති කාර්යක්ෂමතාව:

පීඩන පහත වැටීම් සහ බලශක්ති පරිභෝජනය අවම කරන, පෙරීමේ ගුණාත්මක භාවයට හානියක් නොවන පරිදි පද්ධති කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කරන නිර්මාණ.

මෙම දියුණුව අර්ධ සන්නායක වායු ෆිල්ටරවල කාර්ය සාධනය වැඩි දියුණු කරනවා පමණක් නොව පිරිවැය කාර්යක්ෂමතාවයට සහ දායක වේ

පාරිසරික තිරසාරත්වය, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ වැඩෙන ඉල්ලීම් ආමන්ත්‍රණය කිරීම.

නිගමනය

අර්ධ-පිරිසිදු වායු සහතික කිරීම, වේෆර් ගුණාත්මකභාවය ආරක්ෂා කිරීම සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව ප්‍රශස්ත කිරීම සඳහා අර්ධ සන්නායක වායු පෙරහන් ඉතා වැදගත් වේ.

අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණය දියුණු කිරීම සහ දැඩි කර්මාන්ත ප්‍රමිතීන් සපුරාලීම සඳහා ඔවුන්ගේ කාර්යභාරය ඉතා වැදගත් වේ.

සකස් කළ විසඳුම් සඳහා, ඔබේ අවශ්‍යතා සඳහා හොඳම පෙරහන් තෝරා ගැනීමට සහ ඔබේ මෙහෙයුම්වල උපරිම කාර්ය සාධනය සහතික කිරීමට ප්‍රවීණයන්ගෙන් උපදෙස් ලබා ගන්න.